在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其他高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。低温直冷机则是解决这类问题的上佳选择。
循环器、高低温、制冷加热循环、温度控制系统
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